Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: http://elar.nung.edu.ua/handle/123456789/3744
Title: Метрологічний аналіз та метрологічне забезпечення атомно-силової мікроскопії
Authors: Надорожняк, Х. О.
Витвицька, Л. А.
Литвин, О. С.
Литвин, П. М.
Середюк, О. Є.
Прокопенко, І. В.
Keywords: атомно-силовий мікроскоп
невизначеність
метрологічний аналіз
калібрування
3D- вимірювання
нанотехнології
атомно-силовой микроскоп
неопределенность
метрологический анализ
калибрование
3D-измерения
нанотехнологии
atomic-power microscope
uncertainty
metrology analysis
calibration
3D-measurement
nanotechnology
Issue Date: 2011
Publisher: ІФНТУНГ
Citation: Метрологічний аналіз та метрологічне забезпечення атомно-силової мікроскопії / Х. О. Надорожняк, Л. А. Витвицька, О. С. Литвин [та ін.] // Методи та прилади контролю якості. - 2011. - № 26. - С. 77-84.
Abstract: Обгрунтовано необхідність розроблення та впровадження стандартів щодо метрологічного забезпечення скануючих зондових мікроскопів як найбільш перспективних засобів вимірювальної техніки в області нанотехнологій та їх використання при сертифікаційних, контрольних, інспекційних випробуваннях. Проведено метрологічний аналіз атомно-силового мікроскопа NanoScope IIIa Dimension 3000, розроблена його метрологічна модель та методика і засоби його калібрування. На основі експериментальних даних визначені розкиди значень геометричних параметрів поверхонь у нанометровому діапазоні 3D-вимірювань, викликані впливом різних джерел невизначеності.
Обосновано необходимость разрабатывания и внедрения стандартов относительно метрологического обеспечения сканирующих зондовых микроскопов как наиболее перспективных средств измерительной техники в области нанотехнологий и их использования при сертификационных, контрольных, инспекционных испытаниях. Проведен метрологический анализ атомно-силового микроскопа NanoScope IIIa Dimension 3000, разработана его метрологическая модель и методика и средства его калибрования. На основе экспериментальных данных определены разбросы значений геометрических параметров поверхностей в нанометровом диапазоне 3D- измерений, вызванные влиянием различных источников неопределенности.
Grounded necessity of development and introduction of standards in relation to the metrology providing of sweepable probe microscopes as most perspective facilities of measuring technique in the area of nanotechnology and their using for the certification,, inspection proof-testing. The metrology analysis of atomic-power microscope of NanoScope IIIa Dimension 3000 is conducted, his metrology model and method and facilities of his calibration is developed. On the basis of experimental information variations of values of geometrical parameters of surfaces are determined in the nanometric range of 3D-measurement, caused by influence of different sources of uncertainty.
URI: http://elar.nung.edu.ua/handle/123456789/3744
ISSN: 1993-9981
Appears in Collections:Методи та прилади контролю якості - 2011 - № 26

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
1293p.pdf1.66 MBAdobe PDFView/Open
Show full item record   Google Scholar


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.