http://elar.nung.edu.ua/handle/123456789/603| Title: | Установка для вимірювання величини та розподілу поверхневого потенціалу Si - пластин методом контактної різниці потенціалів |
| Authors: | Волощук, А. Г. Білоголовка, В. Т. |
| Issue Date: | 2002 |
| Publisher: | ІФНТУНГ |
| Citation: | Установка для вимірювання величини та розподілу поверхневого потенціалу Si - пластин методом контактної різниці потенціалів / А. Г. Волощук, В. Т. Білоголовка // Методи та прилади контролю якості. - 2002. - № 8. - С. 44-46. |
| Abstract: | Описана установка неруйнівного контролю якості фізико-хімічного стану поверхні напівпровідників, шляхом вимірювання поверхневого потенціалу. Приведені функціональна схема і технічні характеристики установки. Викладено вибіркові результати, що відображують вплив хімічних обробок на величину поверхневого потенціалу Si-пластин. |
| URI: | http://elar.nung.edu.ua/handle/123456789/603 |
| Appears in Collections: | Методи та прилади контролю якості - 2002 - №8 |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.